Промышленность и энергетика РФ

Топливно-энергетический комплекс России - промышленный портал

Орликовский Александр Александрович
Дата рождения:

12 июня 1938(1938-06-12) (74 года)

Место рождения:

Москва

Страна:

 Россия

Научная сфера:

микро- и наноэлектроника

Место работы:

ФТИАН

Альма-матер:

МИФИ

Алекса́ндр Алекса́ндрович Орлико́вский (родился 12 июня 1938 года в Москве) — советский и российский физик, академик РАН, доктор технических наук, профессор, директор Физико-технологического института РАН (ФТИАН).

Содержание

Биография

Выпускник Московского инженерно-физического института 1961 года.

В 19611963 годах работа в Союзном научно-исследовательском институте приборостроения.

В 19631966 годах аспирант Московского института электронного машиностроения.

В 19691984 годах (последовательно) старший преподаватель, доцент, профессор кафедры интегральных полупроводниковых схем (ныне кафедра интегральной электроники и микросистем) Московского института электронной техники.

В 19811985 годах старший научный сотрудник сектора микроэлектроники Физического института им. П. Н. Лебедева (ФИАН), в 19851988 годах заведующий лаборатории микроструктурирования и субмикронных приборов отдела микроэлектроники Института общей физики (ИОФАН).

С 1988 года (после выделения отдела в Физико-технологический институт) заведующий лабораторией (19882001), заместителем директора по научной работе (20012005), директор ФТИАН (с 2005 года).

Начиная с работы в МИЭТ, научная карьера и деятельность Орликовского тесно связана с научной карьерой и деятельностью академика Валиева. Орликовский, как и Валиев, последовательно переходит сначала в ФИАН, затем в ИОФАН и в ФТИАН. Наконец, в 2005 году, когда Валиев ушёл с должности директора ФТИАН, новым директором был избран именно Орликовский.

Читает лекции на кафедре физических и технологических проблем микроэлектроники факультета физической и квантовой электроники МФТИ.[1]

Член-корреспондент РАН (2000), академик РАН (2006) по Отделению нанотехнологий и информационных технологий.

Основные научные результаты

  • Выполнены с внедрением в спецаппаратуре пионерские работы по полупроводниковым интегральным схемам памяти (концепция, схемы выборки, структуры, коллективные явления).
  • Разработаны плазменные процессы (травления, осаждения, имплантации и др.) в технологии кремниевой наноэлектроники; разработаны методы мониторинга плазменных процессов, созданы высокочувствительные детекторы момента окончания процессов; разработан томограф низкотемпературной плазмы для контроля 2В-распределений концентраций радикалов и ионов.
  • Разработаны оригинальные конструкции СВЧ и ВЧ источников высокооднородных потоков плотной плазмы; созданы автоматизированные технологические плазменные установки, предназначенные для применения как в исследовательских, так и в промышленных целях;
  • Разработаны новые технологии силидизации контактов к мелкозалегающим p-n переходам; получены приоритетные результаты в исследованиях кинетики фазообразования силицидов.
  • Разработана физическая модель баллистических нанотранзисторов со структурой «кремний на изоляторе» с учетом квантовых эффектов; созданы нанотранзисторы с суб-100 нм каналами.

Ссылки

  1. Кафедра физических и технологических проблем микроэлектроники ФФКЭ МФТИ

Источники

  • Информация на сайте РАН
  • Биография на сайте ФТИАН
  • Академику Орликовскому Александру Александровичу - 70 лет! // Сайт РАН